近年来,有不法分子开始贩卖一种“软性毒品”——笑气。据报道,青少年因吸食“笑气”损害身心健康的事件不断发生,“打气球”“奶油气弹”等词语频频出现其实都是吸食“笑气”的不同说法。
与此同时,在半导体电子行业的CVD非金属膜沉积工序,笑气(一氧化二氮)同其它电子特气一样又是电子工艺中不可或缺的材料气体。
那么
笑气到底是什么?
是会上瘾的“减压神器”“快乐气”?
还是是电子工业的“气体血液”?
“笑气”会造成哪些危害!
它的浓度又是来如何检测?
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“笑气”?神马玩意?
笑气N2O的广泛应用
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N2O是直接影响光电器件质量的
不可替代的关键电子特气
N2O纯度会直接影响到SiO2膜纯度,如果杂质含量高,沉积的SiO2膜颗粒多,不光亮,产生表面折射率不均匀等现象,不利于光刻工艺的进行。如果N2O中微量水含量高,可造成SiO2膜含氢量大,致密性达不到要求,导致器件工作状态不稳定,抗电磁辐射能力不强。
因此为保证光电器件产品的质量和可靠性,工艺要求N2O纯度必须在5N以上。
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编辑:周成
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